ENG FB kontakt

26.04.2025

Strona główna Listopad 2016 Zadanie proste i odwrotne w skaterometrii nierówności powierzchni *

Zadanie proste i odwrotne w skaterometrii nierówności powierzchni *

Direct and inverse problems in scatterometry of rough surfaces

Czesław Łukianowicz   |   29-10-2016

Mechanik nr 11/2016 - VII Kongres Metrologii „Metrologia fundamentem postępu w naukach stosowanych”

STRESZCZENIE: Przedstawiono dwa podstawowe problemy związane z zastosowaniem w pomiarach nierówności powierzchni zjawiska rozpraszania światła. Przybliżono ideę rozwiązania zadania odwrotnego w pomiarach wykorzystujących optyczne przekształcenie Fouriera.

SŁOWA KLUCZOWE: zadanie proste, zadanie odwrotne, rozpraszanie światła, powierzchnie nierówne

ABSTRACT: Two major problems associated with the use phenomenon of light scattering for the measurement of surface roughness are outlined briefly. Idea solve the inverse problem in the measurements using optical Fourier transform is shown.

KEYWORDS: direct problem, inverse problem, light scattering, rough surfaces

BIBLIOGRAFIA / BIBLIOGRAPHY:

  • Wieczorowski M. „Metrologia nierówności powierzchni – metody i systemy”. Szczecin, ZAPOL, 2013.
  • Stover J.C. “Optical Scattering: Measurement and Analysis”. 3rd Edition, Bellingham, SPIE Press, 2012.
  • Halhweg C., Rothe H. “Rough surface scatterometry of bodies with rotational symmetry”. Proc. of SPIE. Vol. 7065, (2008): pp. 70650H-1-6.
  • Afifi S.E., Dusseaux R. “Scattering by random rough surfaces: Study of direct and inverse problem”. Optics Communication. Vol. 265, No. 1 (2006): pp. 11–17.
  • Baltes H.P. (ed.) “Inverse Scattering Problems in Optics”. Springer, Berlin, Heidelberg, 2012.
  • Colton D., Kress R. “Inverse Acoustic and Electromagnetic Scattering Theory”. New York, Heidelberg, Springer, 2012.
  • Mroczka J., Szczuczyński D. “Inverse problems formulated in terms of first-kind Fredholm integral equations in indirect measurement”. Metrology and Measurement Systems. Vol. 16, No. 3 (2009): pp. 333–357.
  • Szczuczyński D.K., Mroczka J. “Comparing the quality of solutions of inverse problem in nephelometric and turbidimetric measurements”. Optica Applicata. Vol. 39, No. 3 (2009): pp. 521–531.
  • Łukianowicz Cz. “Inverse problem in scatterometry of rough surfaces”. Optica Applicata. Vol. 33, No. 2–3 (2003): pp. 315–327.

DOI: http://dx.doi.org/10.17814/mechanik.2016.11.460

Pobierz plik / download

Czesław Łukianowicz: Zadanie proste i odwrotne w skaterometrii nierówności powierzchni (Direct and inverse problems in scatterometry of rough surfaces) (PDF, ~1,6 MB)

Strona główna Listopad 2016 Zadanie proste i odwrotne w skaterometrii nierówności powierzchni *

Zamów NEWSLETTER

Nasze propozycje

Wyścig o najważniejsze metale świata. Brudne oblicze czystej energii i cyfrowych technologii
Vince Beiser

Wyścig o najważniejsze metale świata. Brudne oblicze czystej energii i cyfrowych technologii

Wydawnictwo Prześwity

Wyścig o metale niezbędne ludzkości do produkcji czystej energii oraz rozwoju cyfrowych technologii...

Inżynieria materiałowa połączeń spawanych
Marek Blicharski, Jan Sieniawski

Inżynieria materiałowa połączeń spawanych

Wydawnictwo Naukowe PWN

Książka jest pierwszym w kraju opracowaniem tłumaczącym wyczerpująco i na dobrym poziomie zjawiska fizyczne...

Metrologia geometryczna powierzchni technologicznych. Zarysy kształtu – Falistość – Mikro- i nanochropowatość.
Stanisław Adamczak

Metrologia geometryczna powierzchni technologicznych. Zarysy kształtu – Falistość – Mikro- i nanochropowatość.

Wydawnictwo Naukowe PWN

"Metrologia geometryczna powierzchni technologicznych" to kompendium poświęcone tematyce pomiarów i analizy...

Nasi partnerzy